原子吸收和原子荧光结构类似，也可以分成四部分：激发光源、原子化器、光学系统和检测器。

可用连续光源或锐线光源。常用的连续光源是氙弧灯，常用的锐线光源是高强度空心阴极灯、无极放电灯、激光等。连续光源稳定，操作简便，寿命长，能用于多元素同时分析，但检出限较差。锐线光源辐射强度高，稳定，可得到更好的检出限。

2、原子化器：

原子荧光分析仪对原子化器的要求与原子吸收光谱仪基本相同。但所用的火焰与AAS的不同，主是因为在通常的AAS火焰中，荧光猝灭严重，必须用Ar稀释的火焰。当用氢化物发生法时，直接使用Ar气氛下的石英加热方法进行原子化。

3、光学系统：

光学系统的作用是充分利用激发光源的能量和接收有用的荧光信号，减少和除去杂散光。色散系统对分辨能力要求不高，但要求有较大的集光本领，常用的色散元件是光栅。非色散型仪器的滤光器用来分离分析线和邻近谱线，降低背景。非色散型仪器的优点是照明立体角大，光谱通带宽，集光本领大，荧光信号强度大，仪器结构简单，操作方便。缺点是散射光的影响大。

4、检测器：

常用的是光电倍增管，在多元素原子荧光分析仪中，也用光导摄像管、析像管做检测器。检测器与激发光束成直 角配置，以避免激发光源对检测原子荧光信号的影响。用于光信号的检测

按原子荧光光谱仪进样方式不同分类：1）被测样品溶液进入样品管后，通过载流（空白）将样品带入氢化物发生器的方式，包括间歇进样和顺序注射；2）被测样品溶液直接进入氢化物发生器的方式。它的检测过程则是样品-样品连续过程。检测时改定量为定速，不需要精确进样量，只需控制流速就可以准确测量。

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